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Atomic Layer Deposition of Tantalum Nitride Based Thin Films
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Agent. Proc. MAM Conf., Dresden (D)
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2008
Band/Vol.
avail, online
Referiert
Nein
Url/Urn/Doi
http://
Berichtsjahr
2008
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente