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High rate deposition of amorphous silicon thin film solar cells (120nm/min) with a VHF-PECVD inline deposition system
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
23rd European Photovoltaic Solar Energy Conference, 1.-5. Sept. 2008, Valencia, Spain
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2008
Referiert
Nein
Url/Urn/Doi
http://
Berichtsjahr
2008
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente