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Investigation on layer properties of amorphous and microcrystalline silicone deposited with moving substrates in combination with a VHF Linear Plasma Source designed for the fabrication of large area devices
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
22rd European Photovoltaic Solar Energy Conference, 3.-7. Sept. 2007, Mailand, Italy
Schlagwörter
a-Si, Micro Crystalline Si, Deposition, Doping, Manufacturing and Processing, PECVD, Solar Cell Efficiencies, Polymer Film
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2007
Referiert
Nein
Url/Urn/Doi
http://
Berichtsjahr
2007
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente