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In situ XPS investigation about the growth of the first atomic layer of Ta(N) films deposited by thermal TBTDET ALD
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Tagungsbandbeitrag und Poster auf dem MRS Fall Meeting 2008, Boston, MA USA
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2008
Referiert
Nein
Url/Urn/Doi
http://
Berichtsjahr
2008
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente