Veröffentlichungen
Veröffentlichungen nach Professuren:
Halbleitertechnik
Mikrosystemtechnik
Archiv:
2006 | 2007 | 2008 | 2009 | 2010 | 2011 | 2012 | 2013 | 2014 | 2015 | 2016 | 2017 | 2018
Alle Veröffentlichungen
Technology development for micromirror arrays with high optical fill factor and stable analogue deflection integrated on CMOS substrates
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proc. SPIE
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2008
Band/Vol.
6993
Seiten
69930D-01-69930D-08
Referiert
Ja
Url/Urn/Doi
http://
Berichtsjahr
2008
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente