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Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of High Quality Tantalum Carbonitride Thin Films
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
MAM-Conference 2008, 3.3.2008, Dresden
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2008
Referiert
Ja
Url/Urn/Doi
http://
Berichtsjahr
2008
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente