Veröffentlichungen
Veröffentlichungen nach Professuren:
Halbleitertechnik
Mikrosystemtechnik
Archiv:
2006 | 2007 | 2008 | 2009 | 2010 | 2011 | 2012 | 2013 | 2014 | 2015 | 2016 | 2017 | 2018
Alle Veröffentlichungen
Metalorganic Atomic Layer Deposition of low-resistive and highly conformal Ta-N-C thin films
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
AVS ALD 2008, 01.7.2008, Brügge, Belgien
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2008
Referiert
Ja
Url/Urn/Doi
http://
Berichtsjahr
2008
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente