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Bonded nanoimprint templates using perflourinated trichlorosilane monolayers as protection layers during template cleaning
Poster
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
MiktroSystemTechnik Kongress 2009, 12.-14.10..2009, Berlin
Schlagwörter
nanoimprint, bonded templates, protection layer, template cleaning, adhesive
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2009
Referiert
Nein
Berichtsjahr
2009
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente