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Herstellung und Anwendung von mikrostrukturierten Siliciumwafern als Reflexionselemente für die Untersuchung chemisch-physikalischer Oberflächenprozesse mittels ATR-FTIR-Spektroskopie
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
14. AKES-Seminar, 06.02.2009
Schlagwörter
Siliciumwafern als Reflexionselement, mikrostrukturierte Siliciumwafern, chemisch-physikalischer Oberflächenprozess, ATR-FTIR-Spektroskopie
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2009
Referiert
Nein
Berichtsjahr
2009
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente