Veröffentlichungen
Veröffentlichungen nach Professuren:
Halbleitertechnik
Mikrosystemtechnik
Archiv:
2006 | 2007 | 2008 | 2009 | 2010 | 2011 | 2012 | 2013 | 2014 | 2015 | 2016 | 2017 | 2018
Alle Veröffentlichungen
Single crystal silicon micro mirrors
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Physica Status Solidi C 6
Schlagwörter
micro mirrors
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2009
Heftnummer/Issue
3
Seiten
728-735
Referiert
Ja
Berichtsjahr
2009
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente