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Antisticking Layers on Antireflective Chromium for Hybrid (CNP) Nanoimprint Molds
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
EMLC2010 - 26th European Mask and Lithography Conference (18.01.-20.01.2010)
Schlagwörter
Antireflective Chromium for Hybrid (CNP) Nanoimprint Molds
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2010
Seiten
70-73
Referiert
Ja
Berichtsjahr
2010
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente