Publications
Semiconductor Technology
Microsystems
Archive:
2006 | 2007 | 2008 | 2009 | 2010 | 2011 | 2012 | 2013 | 2014 | 2015 | 2016 | 2017 | 2018
Recent publications
Dynamic VHF-PECVD technique for flexible substrate coating
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proc. of the 54th Annual SVC Technical Conference, Chicago 2011
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2011
Referiert
Nein
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2011
Export
Categories
Journals | Conferences | Books | Patents | Press