Publications
Semiconductor Technology
Microsystems
Archive:
2006 | 2007 | 2008 | 2009 | 2010 | 2011 | 2012 | 2013 | 2014 | 2015 | 2016 | 2017 | 2018
Recent publications
Analysis of the energy input during wire coating from a cylindrical magnetron source
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Thin Solid Films
Schlagwörter
Wire coating, Sputter deposition, Energy input, Langmuir probe, TRIM
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2012
Band/Vol.
520
Heftnummer/Issue
20
Seiten
6404-6408
Referiert
Ja
Open Access
Ja
Url/Urn/Doi
DOI: 10.1016/j.tsf.2012.05.072
Berichtsjahr
2012
Export
Categories
Journals | Conferences | Books | Patents | Press