Veröffentlichungen
Veröffentlichungen nach Professuren:
Halbleitertechnik
Mikrosystemtechnik
Archiv:
2006 | 2007 | 2008 | 2009 | 2010 | 2011 | 2012 | 2013 | 2014 | 2015 | 2016 | 2017 | 2018
Alle Veröffentlichungen
Progress in Spectroscopic Ellipsometry for the in-situ real-time investigation of Atomic Layer Depositions
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
8th Workshop Ellipsometry, Arbeitskreis Paul Drude e. V. in Dresden, 10.-12.03.2014
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2014
Band/Vol.
Vortrag
Referiert
Nein
Open Access
Nein
Url/Urn/Doi
DOI: 10.13140/2.1.4076.7689
Berichtsjahr
2014
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente