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Geometrical Properties of Multilayer Nano-Imprint-Lithography Molds for Optical Applications
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Microelectronic Engineering
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2012
Band/Vol.
98
Seiten
284-287
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2012
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