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Ta2O5 by thermal-activated ALD
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Conference: DPG Frühjahrstagung Dresden, 30.03.-04.04.2014
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2014
Band/Vol.
Vortrag
Referiert
Nein
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2014
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