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A Flexible Research Reactor for Atomic Layer Deposition with a Sample-Transport Chamber for in Vacuo Analytics
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
American Journal of Nano Research and Application. Special Issue:Advanced Functional Materials
Schlagwörter
Atomic Layer Deposition, Reactor Design, in Vacuo Sample Transport, UV Irradiation
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2014
Band/Vol.
2
Heftnummer/Issue
6-1
Seiten
34-38
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Url/Urn/Doi
Berichtsjahr
2014
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente