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Zimmermann, T. ; Flikweert, A. J. ; Merdzhanova, T. ; Woerdenweber, J. ; Gordijn, A. ; Rau, U. ; Stahr, F. ; Dybek, K. ; Bartha, J. W.

Deposition of intrinsic hydrogenated amorphous silicon for thin-film solar cells – a comparative study for layers grown statically by RF-PECVD and dynamically by VHF-PECVD

Typ der Veröffentlichung

Zeitschriftenaufsatz

Veröffentlicht in

Progress in Photovoltaics Research and Applications (Impact Factor: 9.7.)

Schlagwörter

dynamic deposition, VHF-PECVD, hydrogenated amorphous silicon, solar cells, degradation

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2014

Band/Vol.

Heftnummer/Issue

Referiert

Open Access

Nein

Url/Urn/Doi

DOI: 10.1002/pip.2254

Berichtsjahr

2014

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