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Rounding of Negative Dry Film Resist by Diffusive Backside Exposure Creating Rounded Channels for Pneumatic Membrane Valves
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Micromachines 2015, 6(11)
Schlagwörter
soft lithography; dry film resist; microfluidics
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2015
Seiten
1588-1596
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Url/Urn/Doi
Berichtsjahr
2015
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Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente