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Atomic layer deposition and 3D nanoscale substrates - nanowires, nanotubes and nanopores
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
16th AVS conference on Atomic Layer Deposition, Dublin, Ireland
Schlagwörter
ALD, QCM, in-situ, TiO2, porous materials, nanowires, nanotubes, film growth, process monitoring
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2016
Referiert
Nein
Open Access
Nein
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Atomic Layer Deposition (ALD)
Berichtsjahr
2016
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Journal | Konferenzen | Bücher | Patente