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Prikryl, J. ; Zazpe, R. ; Knaut, M. ; Sopha, H. ; Bartha, J.W. ; Macak, J.

High-aspect ratio anodic TiO2 nanotubes: unprecedented ability of ALD to add a functionality

Typ der Veröffentlichung

Konferenzbeitrag

Veröffentlicht in

16th AVS conference on Atomic Layer Deposition, Dublin, Ireland

Schlagwörter

ALD, Al2O3, porous materials, nanotubes, film growth, high aspect ratio

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2016

Referiert

Nein

Open Access

Nein

Zugeordnete Forschungsschwerpunkte

Berichtsjahr

2016

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