Veröffentlichungen

Leszczynska, B. ; Strobel, C. ; Leszczynski, S. ; Fischer, D.D. ; Albert, M. ; Bartha, J.W. ; Stephan, U. ; Kuske, J.

Deposition of Amorphous and Microcrystalline Silicon in Very High Frequency Range Up to 140 Mhz

Typ der Veröffentlichung

Konferenzbeitrag

Veröffentlicht in

32nd European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition (2016)

Schlagwörter

PECVD, Solar Cell, Microcrystalline Silicon, Very High Frequency, Amorphous Silicon

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2016

Seiten

1272-1275

Referiert

Nein

Open Access

Nein

ISBN

3-936338-41-8

Url/Urn/Doi

10.4229/EUPVSEC20162016-3DV.1.19

Berichtsjahr

2016

Export

Zu dieser Seite