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Schwille, M. ; Barth, J. ; Schössler, T. ; Schön, F. ; Bartha, J.W. ; Oettel, M.

Simulation approach of Atomic Layer Deposition in large 3D structures

Typ der Veröffentlichung

Zeitschriftenaufsatz

Veröffentlicht in

Modelling and Simulation in Materials Science and Engineering

Schlagwörter

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2017

Referiert

Open Access

Nein

Url/Urn/Doi

10.1088/1361-651X/aa5f9d

Berichtsjahr

2017

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