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Junige, M. ; Kitzmann, J. ; Chavarin, C.A. ; Geidel, M. ; Reif, J. ; Albert, M. ; Lupina, G. ; Wenger, C. ; Bartha, J.W.

In-situ real-time and in-vacuo study of the temperature impact on the Al2O3 ALD nucleation upon pristine monolayer graphene

Typ der Veröffentlichung

Konferenzbeitrag

Veröffentlicht in

AVS 17th International Conference on Atomic Layer Deposition : July 15 – 18, 2017, Denver, Colorado, USA. Denver, 2017

Schlagwörter

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2017

Referiert

Open Access

Nein

Zugeordnete Forschungsschwerpunkte

Berichtsjahr

2017

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