Veröffentlichte Journale 2015
Flash-Enhanced Atomic Layer Deposition: Basics, Opportunities, Review, and Principal Studies on the Flash-Enhanced Growth of Thin Films
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
ECS Journal of Solid State Science and Technology
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2015
Band/Vol.
4
Heftnummer/Issue
7
Seiten
277-287
Referiert
Ja
Open Access
Ja
Url/Urn/Doi
10.1149/2.0301507jss
Berichtsjahr
2015
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