Published Journals 2015
Low-thermal budget flash light annealing for Al2O3 surface passivation
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Physica Status Solidi (RRL) – Rapid Research Letters
Schlagwörter
Al2O3, surface passivation, flash light annealing, atomic layer deposition, carrier lifetimes
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2015
Band/Vol.
9
Heftnummer/Issue
11
Seiten
631-635
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Url/Urn/Doi
DOI: 10.1002/pssr.201510306
Berichtsjahr
2015
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