Veröffentlichte Journale 2015
Rounding of Negative Dry Film Resist by Diffusive Backside Exposure Creating Rounded Channels for Pneumatic Membrane Valves
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Micromachines 2015, 6(11)
Schlagwörter
soft lithography; dry film resist; microfluidics
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2015
Seiten
1588-1596
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Url/Urn/Doi
Berichtsjahr
2015
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