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Publications 2012

81 bis 82 von 82 Einträgen

Kirchner, R.; Derix, J.; Nocke, A.; Landgraf, R.: Direct Nanoimprinting for Micro- and Nanosystems. Ed. G. Gerlach and K.-J. Wolter, Springer-Verlag B (2012)

Knaut, M.; Junige, M.; Wojcik, H.; Neumann, V.; Hiess, A.; Henke, T.; Albert, M.; Bartha, J.W.; Hoßbach, C.: Atomic layer deposition for high aspect ratio through silicon vias. In: Materials for Advanced Metallization 2012, Grenoble, France (2012)

Diese Informationen werden vom Vorgängersystem FIS bereitgestellt.

Dr. Steffen Strehle

Last modified: Sep 14, 2016