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Mikrosystemtechnik
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CMOS integrable micro mirrors with highly improved drift stability
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proc. MEMS adaptive optics
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2007
Vermerk
keiner
Band/Vol.
6467
Seiten
64670R-1-64670R-11
Institution
SPIE
Referiert
Nein
Berichtsjahr
2007
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente