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Fast backscattering parameter determination in e-beam lithography with a modified doughnut test
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Microelectronic Engineering
Schlagwörter
E-beam, Backscattering, Proximity effect correction, Doughnut test
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2009
Band/Vol.
in press
Referiert
Ja
Berichtsjahr
2009
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