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Residual Layer Free Polymer Waveguides And Microring Resonators Realized With UV-assisted Nanoimprint
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proc. 9th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology
Schlagwörter
Nanoimprint
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2010
Seiten
88-89
Referiert
Ja
Berichtsjahr
2010
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente