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Deposition of PZT thin film onto copper-coated polymer films by mean of pulsed-DC and RF-reactive sputtering
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Surface & Coatings Technology 205 (2011)
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2011
Seiten
241-244
Referiert
Ja
Berichtsjahr
2011
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