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Realization of a hybrid-integrated MEMS scanning grating spectrometer
Section: Next-Generation Spectroscopic Technologies V, 17 May 2012
Typ der Veröffentlichung
Forschungsbericht
Veröffentlicht in
Proc.SPIE
Schlagwörter
MEMS spectrometer
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2012
Band/Vol.
8374
Referiert
Nein
Open Access
Nein
Url/Urn/Doi
DOI: 10.1117/12.919068
Berichtsjahr
2012
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Journal | Konferenzen | Bücher | Patente