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Basic investigations of ruthenium’s ALD growth initiation
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
AVS 12th International Conference on Atomic Layer Deposition : June 17 – 20, 2012, Dresden, Germany. Dresden, 2012
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2012
Band/Vol.
Poster
Referiert
Nein
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2012
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente