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High Rate PECVD Deposition of Silicon Thin Films at Very High Excitation Frequencies (81.36-140 MHz)
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proceedings of 27th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition 2012
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2012
Seiten
2507-2510
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2012
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente