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Fabrication of Polymer Structures with Undercuts by Reverse Imprint Lithography
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proc. of the 57th Int. Conf. on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication EIPBN, Nashville, Tennessee, 2013
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2013
Referiert
Nein
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2013
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