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Halbleitertechnik
Mikrosystemtechnik
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Micro-opto-electro-mechanical systems technology and its impact on photonic applications
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
J. Microlith., Microfab., Microsyst.
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2005
Band/Vol.
4 (4)
Seiten
1-11
Referiert
Nein
Berichtsjahr
2005
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente