Publications
Semiconductor Technology
Microsystems
Archive:
2006 | 2007 | 2008 | 2009 | 2010 | 2011 | 2012 | 2013 | 2014 | 2015 | 2016 | 2017 | 2018
Recent publications
Atomic layer deposited high-κ nanolaminates for silicon surface passivation
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Journal of Vacuum Science & Technolgy, B
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2014
Band/Vol.
32
Heftnummer/Issue
3
Seiten
03D110-03D110-6
Referiert
Ja
Open Access
Ja
Url/Urn/Doi
Berichtsjahr
2014
Export
Categories
Journals | Conferences | Books | Patents | Press