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Razmernye effekty statitsheskoi provodimosti v tonkych plyonkach tantala
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Shurnal Technitsheskoi Fiziki Nr. 6 (2005)
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2005
Vermerk
Neuerscheinung
Seiten
42-45
Referiert
Nein
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Plasmagestützte Abscheidung und Strukturierung von dünnen Schichten
Berichtsjahr
2005
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente