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Characterisation of thin Ta-Si-Nx layers of different nitrogen content using XPS, UPS and STM
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Applied Surface Science 252 (2005)
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2005
Vermerk
Neuerscheinung
Seiten
89-93
Referiert
Nein
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Magnetronsputtern/ /Mikrogalvanik/RIE-Si-Tiefenätzen/Passivierungen
Zugeordnete Forschungsprojekte
- SAW-Leistungsbauelemente in Kupfer-Damascene-Technik
Berichtsjahr
2005
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Journal | Konferenzen | Bücher | Patente