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VHF Linear Plasma Source for Large Area Deposition of Amorphous and Multicrystalline Silicon Solar Cells
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
20th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition, Barcelona, 6.-10.06.2005
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2005
Vermerk
Neuerscheinung
Referiert
Nein
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Plasmagestützte Abscheidung und Strukturierung von dünnen Schichten
Zugeordnete Forschungsprojekte
- Entwicklung eines kontinuierlichen VHF-Bandbeschichtungsverfahrens zur Herstellung von mikromorphen Si- Tandemsolarzellen
Berichtsjahr
2005
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Journal | Konferenzen | Bücher | Patente