Zur Hauptnavigation springen
Zur Unternavigation springen
Zur Suche springen
Zum Inhalt springen

Publikationen der Professur für Halbleitertechnik

281 bis 284 von 284 Einträgen

Novodvorski, O. A.; Chramova, O. D.; Wenzel, C.; Bartha, J. W.: Razmernye effekty statitsheskoi provodimosti v tonkych plyonkach tantala. In: Shurnal Technitsheskoi Fiziki Nr. 6 (2005) (2005), S. 42–45

Novodvorski, O. A.; Chramova, O. D.; Panchenko, V. Ya.; Gorbatenko, L. S.; Butorina, Ye. A.; Wenzel, C.; Bartha, J. W.: Optical and structural characteristics of ZnO films doped with gallium. In: Proceed. SPIE, 2005, in press (2005)

Hübner, R.; Hecker, M.; Mattern, N.; Hoffmann, V.; Wetzig, K.; Heuer, H.; Wenzel, C.; Bartha, J. W.; Engelmann, H.-J,; Gehre, D.; Zschech, E.; Acker, J.: Thermal stability and degradation mechanisms of thin Ta-Si-N diffusion barriers for Cu interconnects. In: Proceed. Conference on Materials for Advanced Metallization (MAM) 2005 (2005)

Berthold, J.; Hentsch, W.; Hilgers, H.; Schülke, T.; Siemroth, P.; Seifried, S.; Wenzel, C.: Industrial Precision Deposition for Microelectronics and Next Generation Hard Disk. In: SVC Publications 47th Technical Conference Proceedings (2005), S. 101

Diese Informationen werden vom Vorgängersystem FIS bereitgestellt.

Kategorien

Journal | Konferenzen | Bücher | Patente

Martin Knaut

Letzte Änderung: 05.10.2022