Veröffentlichte Journale
UV-Nanoimprinting Using Non-Transparent Molds and Non-Transparent Substrates
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Microelectronic Engineering, 88(8):20042008, August 2011
Schlagwörter
Nanoimprinting
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2011
Seiten
1-5
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Url/Urn/Doi
DOI 10.1016/j.mee.2011.01.066
Berichtsjahr
2011
Export
Journal Archiv:
2015 | 2014 | 2013 | 2012 | 2011 | 2010 | 2009 | 2008 | 2007 | 2005 | 2004