Patente
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Feuchtigkeitssensorelement und Verfahren zum Herstellen desselben, 2014
Feuchtigkeitssensorelement und Verfahren zum Herstellen desselben, 2013
Imprint Template, Nanoimprint Device and Nanostructuring Method, 2011
Imprinttemplate, Nanoimprintvorrichtung und Nanostrukturierungsverfahren, 2011
Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Nanoimprinttemplates, 2011
Methode zur Herstellung gestapelter Nanoimprinttemplates mittels Transferpads bzw. -schichten, 2009
Flüssigkeitshandhabungssystem, 2008
Diese Informationen werden vom Vorgängersystem FIS bereitgestellt.