Published Journals 2011
Degradation of Perfluorotrichlorosilane Antisticking Layers: The Impact on Mold Cleaning, UVNanoimprinting, and Bonded UV-Nanoimprint Molds
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Jpn. J. Appl. Physics
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2011
Band/Vol.
50
Seiten
6-13
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2011
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