Veröffentlichte Journale
Degradation of Perfluorotrichlorosilane Antisticking Layers: The Impact on Mold Cleaning, UVNanoimprinting, and Bonded UV-Nanoimprint Molds
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Jpn. J. Appl. Physics
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2011
Band/Vol.
50
Seiten
6-13
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2011
Export
Journal Archiv:
2015 | 2014 | 2013 | 2012 | 2011 | 2010 | 2009 | 2008 | 2007 | 2005 | 2004