Published Journals
High aspect ratio pattern collapse of polymeric UV-nano-imprint molds due to cleaning
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Microelectronic Engineering, 110
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2013
Seiten
112-118
Referiert
Ja
Open Access
Nein
ISSN
0167-9317
Url/Urn/Doi
Berichtsjahr
2013
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