Veröffentlichte Konferenzbeiträge
Characterisation of the Geometrical Properties of Multilayer Nano-Imprint-Lithography Molds for Optical Applications
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proc. 37th Int. Conf. on Microand Nano Engineering 2011 (MNE2011)
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2011
Referiert
Nein
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2011
Export
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