Veröffentlichte Konferenzbeiträge
Nanoimprinting for high aspect ratio optical microsystems
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Vortrag, Industrie-Partner-Symposium TU Dresden at Semicon 2009
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2009
Referiert
Nein
Berichtsjahr
2009
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