Veröffentlichte Konferenzbeiträge 2011
Multilayer Nano-Imprint-Lithography Mold Fabrication Process
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proc. 3. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration, 2.-4.3.2011, Stuttgart
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2011
Reihe
VDE Verlag GmbH
Band/Vol.
GMM Fachbericht 68
Seiten
8-12
Referiert
Nein
Open Access
Nein
ISBN
978-3-8007-3334-7
Berichtsjahr
2011
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